磁控離子濺射儀MSP-1S的檢測示例分析

　　磁控離子濺射儀MSP-1S的檢測示例分析

　　Au：金
　　觀察區(qū)域：幾千到10,000倍
　　Au-Pd：金鈀
　　觀察區(qū)域：10,000到50,000倍
　　適合低倍觀察，對比度好。
 

　　Pt：鉑
　　觀察面積：50000～100000倍
　　Pt--Pd：鉑鈀
　　觀察面積：30000～50000倍
　　粒徑細(xì)，常用于高倍觀察。
 
　　相關(guān)產(chǎn)品特點
 
　　●磁控型濺射，采用較低外加電壓減輕樣品的離子損傷。
 
　　●真空度調(diào)節(jié)：適合磁控離子濺射的真空度是 6-8Pa,MSP-1S 通 過機(jī)械泵抽泣與泄露閥漏氣的平衡，使樣品倉自動保持在適合的真空度范圍內(nèi)，不需要手動做壓力調(diào)整。
 
　　●浮動樣品臺設(shè)計：樣品臺是浮動型并與樣機(jī)電機(jī)絕緣，可讓電子 不通過樣品而使溫度上升很少。
 
　　●占地面積：臺式設(shè)計，內(nèi)置機(jī)械泵，只需要有 20cm×40cm 的占 地面積，重量只有 14.6Kg。