腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器

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更新日期：2024-03-19

簡要描述：

日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列
半導體設備的生產線中、HBr、HCl等鹵素反應性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過濾器等不銹鋼內表面吸附并和少量的水分反應，形成腐蝕生成物。

詳細介紹

類型	數(shù)字壓力表

日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列

半導體設備的生產線中、HBr、HCl等鹵素反應性、腐蝕性特殊氣體大量被使用。這些腐蝕性氣體會在使用的氣體供給管道、壓力傳感器、氣體過濾器等不銹鋼內表面吸附并和少量的水分反應，形成腐蝕生成物。這種物質是產生微粒子造成半導體工藝污染的原因。因此，我們采用了遠比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金® 開發(fā)出這種對應腐蝕性氣體的壓力傳感器PC-601系列。

高耐腐蝕性
對應HBr、HCl等鹵素反應性、腐蝕性特殊氣體，氣體接觸部分采用遠比不銹鋼SUS316L具有耐腐蝕性的哈司特鎳合金®，并進行了電解研磨處理，充分發(fā)揮了其出色的耐腐蝕性能力。
高精度、高可靠性
直線性、滯后性、重復精度的影響造成和優(yōu)擬合線的偏差為±0.25％，具備高精度和高可靠性。
測定范圍寬
表壓的壓力范圍從0～172.4KPA（1.76KGf/cm²）到20,684KPa（210KGf/cm²），壓的壓力范圍為0～2,586torr。
使用壽命長
各測量范圍都通過了100萬次的循環(huán)耐久測試。

日本pureron腐蝕性特殊氣體用哈司特鎳合金壓力傳感器PC-601系列

規(guī)格

型號		表壓※						壓
型號	PSI	25G	50G	100G	200G	500G	3000G	15A	25A	50A
壓力范圍	KPa	0～172.4	0～344.7	0～689.5	0～1,378.9	0～3,447.3	0～20,684	0～103.4	0～172.4	0～344.7
	kgf/cm²	0～1.76	0～3.52	0～7.03	0～14.06	0～35.16	0～210.9	-	-	-
	torr	-	-	-	-	-	-	0～776	0～1,293	0～2,586
精度（％全量程)		±0.5％		±0.25％				±0.5％

※所有的表壓類型可以連成。

過載壓力	全量程×2
激勵電源電壓	DC 5V(MAX 6V)
保存溫度范圍	-20℃～93℃（未通電）
溫度補償范圍	-1℃～71℃
溫度漂移	±0.05%　FS/℃
信號輸出	100mV(20mV/V) ※25G ?50Gは、50mV(10mV/V)
跨度	100mV±15mV ※25G ?50Gは、50mV ± 15mV
偏移量	0mV ± 10mV
外部泄漏量	2×10^-11Pa?m³/sec
氣體（液體）接觸部分	哈司特鎳合金^®
連接零件	1/4"　Gasket seal、 Compression seal、其它

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